SF6氣體檢漏儀就是將被檢工作，利用壓縮機或壓縮空氣連接進一個壓力表，待充上氣后，密封，觀察壓力表24小時內壓力降情況，如有漏則壓力降低，但不能判斷什么地方漏，漏多少。當然還有許多其它方法，或者說，只能檢大漏，有的不能檢出漏在哪里，漏多少等弊端，所以在汽車空調等場合檢漏只有求助于氦質譜檢漏儀。SF6氣體檢漏儀的工作原理是帶電離子在磁場中受磁場力的影響，按其質荷比的大小，產生不同的偏轉而分離的原理。它是由產生離子的離子源，按質荷比分離的磁場和帶有放大功能的接收離子的離予接受器，保證離予正常運行，避免碰撞的真空系統和樣品導入系統，以及電氣控制系統五部分組成。